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申请/专利权人：中国科学院空天信息创新研究院
摘要：本发明提出了一种改善谐振式压力传感器温度特性的方法，通过测量静电驱动谐振器输出频率与直流偏置电压的关系以及传感器输出频率与温度的关系，构建传感器温度特性改善的热敏电阻补偿网络，达到降低传感器温度系数以及改善传感器输出频率与温度之间的非单调特性的效果，从而促进传感器的高精度温度补偿。
主权项：1.一种改善谐振式压力传感器温度特性的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1，获取某一特定压力点下谐振式压力传感器的输出频率f1与直流偏置电压V的关系：f1＝y1V1通过获取输出频率f1与直流偏置电压V的数据，再通过拟合的方法获得准确的输出频率f1与直流偏置电压V之间的关系；步骤S2，获取某一特定压力点下谐振式压力传感器输出频率f2与温度T的关系：f2＝y2T2获取输出频率f2与温度T的数据，再通过拟合的方法获得准确的输出频率f2与温度T之间的关系；步骤S3，获取不同温度下的期望的直流偏置电压：根据预期特性，建立不同温度下谐振式压力传感器频率的补偿模型，通过调整偏置电压来改变不同温度下谐振器的频率，从而抵消或者降低温度的影响，最终获得不同温度下的直流偏置电压Vdc，得到关系模型：Vdc＝y3T3所述关系模型根据步骤S1，步骤S2的拟合结果确定；步骤S4，构建期望的直流偏置电压的电阻补偿网络：根据所述步骤3中的关系模型，选择温敏电阻与固定电阻，利用温敏电阻的温度特性构建电阻补偿网络，从而实现对温度特性补偿电路的调整，得到预期的直流偏置电压与温度之间的关系：Vdc＝y4RT,R4。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院空天信息创新研究院 一种改善谐振式压力传感器温度特性的方法
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