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申请/专利权人：苏州盛拓半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种低高径比气浮转台的优化受载结构，主要由机壳、上止推法兰和下止推法兰组成。机壳作为整个结构的支撑基础，上止推法兰固设于机壳的上方，而下止推法兰则固设于上止推法兰的下方。这种布局方式使得整个结构紧凑且稳定；本实用新型采用的锥形滚针轴承的布局设计使得径向载荷能够以从外向内的方式逐渐传递和分散。滚针轴承的锥形结构有助于将径向载荷从轴承的外圈逐渐传递到内圈，实现了载荷的均匀分布。这种设计还利用了锥形结构的自定心特性，即使在受到径向载荷作用时，轴承也能保持相对稳定的位置，进一步减少了因载荷不均造成的振动和磨损。
主权项：1.一种低高径比气浮转台的优化受载结构，包括机壳（1）、固设于所述机壳（1）上方的上止推法兰（2）以及固设于所述上止推法兰（2）下方的下止推法兰（3），所述上止推法兰（2）的中部转动配合有工作台面（11），其特征在于：所述下止推法兰（3）内具有两个对称的锥形腔室，两个所述锥形腔室内设有对称形式的回转轴承组件，所述回转轴承组件配合连接于所述工作台面（11）；当所述工作台面（11）执行转动时，所述回转轴承组件将其轴向载荷和径向载荷以上-下、外-内的形式均分并加以承担。
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权利要求：
百度查询： 苏州盛拓半导体科技有限公司 一种低高径比气浮转台的优化受载结构
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