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申请/专利权人：厦门铭意真空科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种柱形磁控溅射靶，包括：磁芯棒、靶头、靶材管；磁芯棒包括磁铁芯管和芯轴管，芯轴管长于磁铁芯管，磁铁芯管套设固定在芯轴管上，磁铁芯管与芯轴管同轴设置，磁铁芯管上设有磁铁组，磁铁组包括若干扇环形永磁铁，永磁铁沿磁铁芯管的周向三个间隔设置，永磁铁沿磁铁芯管的轴向延伸到磁铁芯管远离靶头的一端，芯轴管远离磁铁芯管的一端固定设置有转动杆，转动杆上设有外螺纹，转动杆远离芯轴管的一端设有把手，芯轴管通过转动杆螺纹连接在靶头远离磁铁芯管的一端上；靶材管可转动设置在靶头上，靶材管和磁铁芯管同轴设置，靶材管套设在磁铁芯管上，靶材管对应磁铁组的位置设置。
主权项：1.一种柱形磁控溅射靶，其特征在于：包括：磁芯棒、靶头、靶材管；所述磁芯棒包括磁铁芯管和芯轴管，所述芯轴管长于所述磁铁芯管，所述磁铁芯管套设固定在所述芯轴管上，所述磁铁芯管与所述芯轴管同轴设置，所述磁铁芯管上设有磁铁组，所述磁铁组包括若干扇环形永磁铁，所述永磁铁沿所述磁铁芯管的周向三个间隔设置，所述永磁铁沿所述磁铁芯管的轴向延伸到所述磁铁芯管远离所述靶头的一端，所述芯轴管远离所述磁铁芯管的一端固定设置有转动杆，所述转动杆上设有外螺纹，所述转动杆远离所述芯轴管的一端设有把手，所述芯轴管通过所述转动杆螺纹连接在所述靶头远离所述磁铁芯管的一端上；所述靶材管可转动设置在所述靶头上，所述靶材管和所述磁铁芯管同轴设置，所述靶材管套设在所述磁铁芯管上，所述靶材管对应所述磁铁组的位置设置。
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百度查询： 厦门铭意真空科技有限公司 一种柱形磁控溅射靶
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