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一种半导体物料表面缺陷检测装置 

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申请/专利权人:安徽佰亿微电子技术有限公司

摘要:本实用新型公开了一种半导体物料表面缺陷检测装置,其技术方案要点是:包括桌体,所述桌体的顶面固定安装有固定座,所述固定座为L型结构,所述固定座垂直部分外壁面套设有连接套,所述连接套的一侧开设有螺纹孔,所述螺纹孔的内部活动套设有螺栓,所述连接套通过所述螺纹孔和所述螺栓进行限位,所述连接套的一侧固定安装有放置板,所述放置板的顶面固定安装有固定壳,所述固定壳的一侧开设有滑动孔,所述滑动孔的内部套设有滑动杆,所述滑动杆由圆柱形的滑动部分和一端的限位部分组成,所述滑动杆远离限位部分的一端固定安装有固定环,所述固定环的内部固定安装有探测相机,通过螺纹孔和螺栓可以对于连接套的固定以及滑动状态进行限定。

主权项:1.一种半导体物料表面缺陷检测装置,包括桌体1,其特征在于,桌体1的顶面固定安装有固定座2,所述固定座2为L型结构,所述固定座2垂直部分外壁面套设有连接套3,所述连接套3的一侧开设有螺纹孔4,所述螺纹孔4的内部活动套设有螺栓5,所述连接套3通过所述螺纹孔4和所述螺栓5进行限位,所述连接套3的一侧固定安装有放置板6,所述放置板6的顶面固定安装有固定壳7,所述固定壳7的一侧开设有滑动孔8,所述滑动孔8的内部套设有滑动杆9,所述滑动杆9由圆柱形的滑动部分和一端的限位部分组成,所述滑动杆9远离限位部分的一端固定安装有固定环10,所述固定环10的内部固定安装有探测相机11。

全文数据:

权利要求:

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