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申请/专利权人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
摘要：本发明涉及一种用于晶圆包装盒干燥的氮气柜及其控制方法，所属晶圆包装结构处理技术领域，包括氮气柜，所述的氮气柜内设有放置区隔离板，所述的放置区隔离板上设有若干排气槽孔，所述的放置区隔离板一侧与氮气柜间为晶圆包装盒放置区Ⅰ，所述的放置区隔离板另一侧与氮气柜间为晶圆包装盒放置区Ⅱ，所述的氮气柜侧边设有与晶圆包装盒放置区Ⅰ相连通的氮气进气管道，所述的氮气柜上端设有与晶圆包装盒放置区Ⅱ相连通的氮气排气管道。具有结构简单和运行稳定性好的优点。解决了晶圆包装盒进行清洗后需要干燥的问题。
主权项：1.一种用于晶圆包装盒干燥的氮气柜，其特征在于：包括氮气柜（1），所述的氮气柜（1）内设有放置区隔离板（3），所述的放置区隔离板（3）上设有若干排气槽孔（4），所述的放置区隔离板（3）一侧与氮气柜（1）间为晶圆包装盒放置区Ⅰ（5），所述的放置区隔离板（3）另一侧与氮气柜（1）间为晶圆包装盒放置区Ⅱ（7），所述的氮气柜（1）侧边设有与晶圆包装盒放置区Ⅰ（5）相连通的氮气进气管道（6），所述的氮气柜（1）上端设有与晶圆包装盒放置区Ⅱ（7）相连通的氮气排气管道（2）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 用于晶圆包装盒干燥的氮气柜及其控制方法
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