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申请/专利权人：西安交通大学
摘要：本发明公开了一种四面硅微米柱三电极电离式气溶胶传感器及制备方法，包括内置于封装结构中的传感器结构；包括从上至下依次分布的第一、第二、第三和第四电极，第一、第四电极为单电极，第二、第三电极为上下叠合后构成的双电极；在第一电极设有扩散孔；第二电极和第三电极背靠背连结在一起，设有分布相同且贯通的引出孔；扩散孔和引出孔周边附着有硅微米柱阵列；第四电极的内表面设有凹槽，凹槽中和凹槽外周覆盖有硅微米柱阵列；通过极板间的玻璃绝缘片控制极间距；电极上引出有金线；四电极之间硅微米柱阵列分布密度和高度相同、分布面积不同，硅微米柱上下尖端正对。该传感器具有高灵敏度、宽量程、高分辨率和快速响应的特点，可以对不同粒径的气溶胶浓度进行检测。
主权项：1.一种四面硅微米柱三电极电离式气溶胶传感器，其特征在于，包括内置于封装结构中的传感器结构；所述传感器结构包括从上至下依次分布的第一、第二、第三和第四电极，第一、第四电极为单电极，第二、第三电极为上下叠合后构成的双电极；第一电极设有扩散孔，第一电极内表面扩散孔周边附着有硅微米柱阵列；第二电极和第三电极背靠背连结在一起，第二、第三电极中心均设有分布相同且贯通的引出孔；第二电极上表面和第三电极下表面引出孔周边覆盖有硅微米柱阵列；第四电极的内表面设有凹槽，凹槽中和凹槽外周覆盖有硅微米柱阵列；第一电极与第二电极之间、第三电极与第四电极之间通过极板间的玻璃绝缘片控制极间距；第一、第二或第三、第四电极上引出有金线；第一电极与第二电极之间、第三电极与第四电极之间硅微米柱阵列分布密度和高度相同、分布面积不同，硅微米柱上下尖端正对。
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权利要求：
百度查询： 西安交通大学 一种四面硅微米柱三电极电离式气溶胶传感器及制备方法
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