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申请/专利权人：山东大学
摘要：本发明属于激光器技术领域，为解决现有深紫外激光系统复杂的问题，提供一种248.3nm单频全固态深紫外激光系统及方法。其中，248.3nm单频全固态深紫外激光系统包括种子激光源光路、三倍频光路、光参量振荡器光路及和频光路；种子激光源光路对设定波长单频种子激光依次进行调制和放大，再进行分光处理，分别再传送至三倍频光路及光参量振荡器光路；三倍频光路产生13倍设定的激光并输出至和频光路；光参量振荡器光路通过光参量振荡产生相匹配波长的激光并输出至和频光路；和频光路进行和频，产生248.3nm深紫外激光。其无需复杂的外部时序控制电路，可大幅降低系统复杂度和造价，提高系统稳定性和可靠性。
主权项：1.一种248.3nm单频全固态深紫外激光系统，其特征在于，包括：种子激光源光路、三倍频光路、光参量振荡器光路及和频光路；所述种子激光源光路用于：对波长为的单频种子激光依次进行调制和放大，再进行分光处理，分别再传送至所述三倍频光路及所述光参量振荡器光路；所述单频种子激光的波长的范围为1000nm-1100nm；所述三倍频光路用于：将接收到的激光依次经过倍频及和频处理后，产生波长为的激光并输出至所述和频光路；所述光参量振荡器光路用于：将接收到的激光依次经过倍频及光参量振荡处理后，产生波长为的激光并输出至所述和频光路；所述和频光路用于：将波长为的激光和波长为的激光进行和频，产生248.3nm深紫外激光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东大学 一种248.3nm单频全固态深紫外激光系统及方法
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