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申请/专利权人：大连海事大学

摘要：本发明提供一种柔性多线圈电感式压力传感检测系统及制作方法。本发明系统，包括柔性多线圈电感式压力传感器、电压检测单元、数据处理单元和激励单元，其中柔性多线圈电感式压力传感器包括多个传感单元，每个传感单元间均用导电柔性聚合物填充，集成柔性压力传感器阵列；每个传感单元均包括导电柔性聚合物、第一激励线圈、第二激励线圈、被激励线圈和不同硬度的PDMS薄膜，被激励线圈设置在第一激励线圈和第二激励线圈中间，且线圈间填充不同硬度的PDMS薄膜；工作时，激励线圈中通以交变电流，传感器受压上下层的PDMS薄膜发生不同程度形变，导致穿过被激励线圈的磁通量发生变化，产生感应电动势，通过测量该信号实现压力的检测。

主权项：1.一种柔性多线圈电感式压力传感检测系统，其特征在于，包括：柔性多线圈电感式压力传感器、电压检测单元10、数据处理单元5以及激励单元7，其中：所述柔性多线圈电感式压力传感器，包括多个传感单元，每个传感单元间均用导电柔性聚合物1填充，集成柔性压力传感器阵列，组成柔性多线圈电感式压力传感器；其中：每个所述传感单元，均包括导电柔性聚合物1、第一激励线圈3、第二激励线圈6、被激励线圈4、第一PDMS薄膜2、第二PDMS薄膜8和第三PDMS薄膜9，其中：第一激励线圈3设置在导电柔性聚合物1的上部，第一激励线圈3与柔性电磁屏蔽膜1的接触部分采用第一PDMS薄膜2密封和固定；被激励线圈4设置在第一激励线圈3的上部，且被激励线圈4与第一激励线圈中心对齐，被激励线圈4与第一激励线圈3的接触部分采用第二PDMS薄膜8密封和固定；第二激励线圈6设置在被激励线圈4的上部，且第二激励线圈6与第一激励线圈3和被激励线圈4中心对齐，第二激励线圈6与被激励线圈4的接触部分采用第三PDMS薄膜9密封和固定；导电柔性聚合物1紧密环绕在第一激励线圈3、第二激励线圈6、被激励线圈4、第一PDMS薄膜2、第二PDMS薄膜8和第三PDMS薄膜9的外部；所述激励单元7，连接第一激励线圈3和第二激励线圈6，用于对第一激励线圈3和第二激励线圈6施加交流电激励；所述电压检测单元10，连接被激励线圈4，用于检测被激励线圈4测得的电压信号，将电压信号经由数模转换器输送至数据处理单元5；所述数据处理单元5，连接电压检测单元10，用于根据电压检测单元10测量的电压信号脉冲的宽度来计算压力的变化情况，获取压力信息。

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