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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
摘要：本发明公开了一种用于半导体设备手套箱缓存腔的补气系统及补气控制方法，系统包括手套箱、缓存腔、水氧分析仪、第一补气阀、控制单元和第二补气阀；手套箱与缓存腔的连接气路上设有第一补气阀，缓存腔与外部惰性气体源的连接气路上设有第二补气阀；水氧分析仪设置在手套箱内部，以实时监测手套箱内的水氧含量；所述水氧分析仪、第一补气阀和第二补气阀均与控制单元连接，所述控制单元根据水氧分析仪反馈的数据信息，控制第一补气阀和第二补气阀的启闭，以实现手套箱与缓存腔达到压力平衡。本发明具有结构紧凑、操作便捷、稳定性高、控制精准等特点，实现了在手套箱反复抽充后，依旧维持低水氧环境。
主权项：1.一种用于半导体设备手套箱缓存腔的补气系统，其特征在于，包括手套箱1、缓存腔2、水氧分析仪3、第一补气阀4、控制单元5和第二补气阀6；所述手套箱1与缓存腔2的连接气路上设有第一补气阀4，缓存腔2与外部惰性气体源的连接气路上设有第二补气阀6；所述水氧分析仪3设置在手套箱1内部，以实时监测手套箱1内的水氧含量；所述水氧分析仪3、第一补气阀4和第二补气阀6均与控制单元5连接，所述控制单元5根据水氧分析仪3反馈的数据信息，控制第一补气阀4和第二补气阀6的启闭，以实现手套箱1与缓存腔2达到压力平衡。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于半导体设备手套箱缓存腔的补气系统及补气控制方法
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