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申请/专利权人：晶瑞电子材料股份有限公司;晶瑞(湖北)微电子材料有限公司

摘要：本发明公开了一种高纯氨水制备的纯度检测方法，涉及高纯氨水测试技术领域。该高纯氨水制备的纯度检测方法，包括以下步骤：对循环过滤中的半成品高纯氨水实时监测；根据半成品高纯氨水原始参数进行半成品高纯氨水循环执行度分析；根据半成品高纯氨水循环执行度分析结果对半成品高纯氨水进行纯度检测分析，根据半成品高纯氨水纯度检测分析结果对半成品高纯氨水通过液体过滤器循环过滤过程进行调控。本发明通过对高纯氨水制备循环过滤的纯度检测评估分析，根据分析结果对半成品高纯氨水循环过滤过程进行调控，达到了提高纯氨水制备的纯度检测方法准确性的效果，解决了现有技术中存在高纯氨水制备的纯度检测方法准确性不足的问题。

主权项：1.一种高纯氨水制备的纯度检测方法，其特征在于，包括以下步骤：将半成品高纯氨水通过液体过滤器循环过滤，对循环过滤中的半成品高纯氨水实时监测，得到半成品高纯氨水原始参数；根据半成品高纯氨水原始参数进行半成品高纯氨水循环执行度分析，得到半成品高纯氨水循环执行度分析结果；根据半成品高纯氨水循环执行度分析结果对半成品高纯氨水进行纯度检测分析，得到半成品高纯氨水纯度检测分析结果，根据半成品高纯氨水纯度检测分析结果对半成品高纯氨水通过液体过滤器循环过滤过程进行调控；所述得到半成品高纯氨水循环执行度分析结果，还包括：将半成品高纯氨水经过液体过滤器循环过滤次数依次编号，表示半成品高纯氨水经过液体过滤器循环过滤次数的编号，，表示半成品高纯氨水经过液体过滤器循环过滤次数总数；通过半成品高纯氨水的液体循环执行度指数和半成品高纯氨水的液体循环执行指示值通过综合分析公式得到液体循环执行度综合系数,具体综合分析公式如下；；；表示第次半成品高纯氨水经过液体过滤器循环过滤的半成品高纯氨水的液体循环执行度综合系数，表示第次半成品高纯氨水经过液体过滤器循环过滤的半成品高纯氨水的液体循环执行度指数，表示第次半成品高纯氨水经过液体过滤器循环过滤的半成品高纯氨水的液体循环执行指示值，为从高纯氨水制备数据库中获取的预设的液体循环执行度指数影响权重因子，为从高纯氨水制备数据库中获取的预设的液体循环执行指示值影响权重因子。

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