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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本文提供用于处理腔室的热屏蔽组件的实施方式。在一些实施方式中，用于处理腔室的热屏蔽组件包括：第一屏蔽件，该第一屏蔽件包括圆形板；第二屏蔽件，该第二屏蔽件耦接至该第一屏蔽件且与该第一屏蔽件呈平行配置，其中该第二屏蔽件具有大于该第一屏蔽件的外径的外径，且该第二屏蔽件包括中心开口，该中心开口具有小于该第一屏蔽件的外径的直径；及第三屏蔽件，该第三屏蔽件耦接至该第二屏蔽件且与该第二屏蔽件呈平行配置，其中该第三屏蔽件的外径大于该第二屏蔽件的该中心开口的该直径。
主权项：1.一种用于处理腔室的热屏蔽组件，包括：第一屏蔽件，所述第一屏蔽件包括圆形板；第二屏蔽件，所述第二屏蔽件耦接至所述第一屏蔽件且与所述第一屏蔽件呈平行配置，其中所述第二屏蔽件具有大于所述第一屏蔽件的外径的外径，且所述第二屏蔽件包括中心开口，所述中心开口具有小于所述第一屏蔽件的外径的直径；及第三屏蔽件，所述第三屏蔽件耦接至所述第二屏蔽件且与所述第二屏蔽件呈平行配置，其中所述第三屏蔽件的外径大于所述第二屏蔽件的所述中心开口的所述直径。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于最小化至处理腔室泵的热辐射的热屏蔽组件
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