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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：提供了一种梯子组件，其包括：安装板，所述安装板连接至制造设施中的模块的侧面；折叠梯子，所述折叠梯子包括具有在第一接头处连接至安装板的臂的梯子框架，其中折叠梯子围绕第一接头在降低位置和升高位置之间旋转，降低位置通过将折叠梯子搁置在制造设施的地板上来限定，并且升高位置通过将折叠梯子悬离地板并且悬在模块大致上方来限定；连接至梯子框架的多个台阶板，所述台阶板在折叠梯子处于降低位置时为用户限定台阶面。套筒在折叠梯子的台阶板中的一个下方延伸，以容纳在制造设施中使用的电子设备。
主权项：1.一种集群工具系统，其包括：装载锁；连接至所述装载锁的第一晶片传送模块；连接至所述第一晶片传送模块的缓冲模块；连接至所述缓冲模块的第二晶片传送模块；其中所述装载锁、所述第一晶片传送模块、所述缓冲模块和所述第二晶片传送模块设置成线性布置；在所述线性布置的第一侧连接至所述第一晶片传送模块的第一处理模块；在所述线性布置的所述第一侧上连接至所述第二晶片传送模块的第二处理模块；在与所述第一侧相对的所述线性布置的第二侧上连接至所述第一晶片传送模块的第三处理模块；在所述线性布置的所述第二侧上连接至所述第二晶片传送模块的第四处理模块；在所述线性布置的所述第一侧上连接至所述缓冲模块的第一梯子组件；在所述线性布置的所述第二侧上连接至所述缓冲模块的第二梯子组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于制造设施的带有部件机架系统的折叠梯子
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