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一种具有轴向磁通电机的涡旋真空泵 

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申请/专利权人:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

摘要:本发明涉及一种具有轴向磁通电机的涡旋真空泵,其中真空抽气机构设于壳体中,轴向磁通电机设于壳体后端,真空抽气机构包括泵定子、泵转子、偏心转轴、波纹管组件和法兰轴承座,其中泵定子和泵转子相互配合,波纹管组件前端设有连接罩与泵转子连接、后端固定于壳体内,法兰轴承座固设于壳体内并插装于波纹管组件中,偏心转轴转动安装于法兰轴承座内,且偏心转轴前端与泵转子相连、后端与轴向磁通电机中的轴向磁通电机转子相连,偏心转轴前端设有第一配重块,且第一配重块设于所述连接罩中,轴向磁通电机转子边缘设有第二配重块。本发明采用轴向磁通电机驱动偏心转轴旋转,大大减小了涡旋真空泵体积和重量,并且能够保证涡旋真空泵的稳定性。

主权项:1.一种具有轴向磁通电机的涡旋真空泵,其特征在于:包括壳体2、真空抽气机构1和轴向磁通电机3,其中真空抽气机构1设于壳体2中,轴向磁通电机3设于壳体2后端,所述真空抽气机构1包括泵定子101、泵转子102、偏心转轴103、波纹管组件104和法兰轴承座109,其中泵定子101和泵转子102相互配合,所述波纹管组件104前端设有连接罩1041与所述泵转子102密封连接、后端密封固定于壳体2内,法兰轴承座109固设于壳体2内并插装于所述波纹管组件104中,偏心转轴103转动安装于所述法兰轴承座109内,且所述偏心转轴103前端与所述泵转子102相连、后端与轴向磁通电机3中的轴向磁通电机转子301相连,所述偏心转轴103前端设有第一配重块107,且所述第一配重块107设于所述连接罩1041中,所述轴向磁通电机转子301边缘设有第二配重块3013。

全文数据:

权利要求:

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