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申请/专利权人：燕山大学

摘要：本发明涉及一种激光‑紫外光‑微波多能场耦合超精密加工系统及方法，包括数控机床，数控机床的动力系统与高速气浮主轴连接，所述高速气浮主轴与回转工作台连接，回转工作台连接有工件装夹件，数控机床的床身上设置有移动机构，移动机构可拆卸地连接有加工单元，所述加工单元有激光加工单元、紫外光加工单元、微波加工单元、车削加工单元和磨削加工单元，可复合成激光‑紫外光‑磨削加工系统及激光‑微波‑车削加工系统，采用本发明的多能场耦合加工系统可同时实现硬脆光电材料和软脆光电材料复杂形面和微结构的经济、高效、近无损伤超精密加工。

主权项：1.激光-紫外光-微波多能场耦合超精密加工系统，包括数控机床，在数控机床上安装有回转工作台能做旋转及X、Y方向往复运动，用于装夹工件；Z轴可移动平台做Z向往复运动；其特征在于，还包括多能场耦合超精密复合加工单元，所述的多能场耦合超精密复合加工单元包括激光加工单元、紫外光加工单元、微波加工单元、磨削加工单元、车削加工单元和液体喷雾装置；进行激光-紫外光超精磨加工时，激光加工单元的激光生成组件的激光发射头通过聚焦光路与激光发生器相连；紫外光生成组件的紫外光发射头与紫外光发生器相连；激光发射头、紫外光发射头、液体喷雾装置位于回转工作台的一侧，磨削加工单元固定到Z轴可移动平台上；所述的液体喷雾装置用于向工件表面喷射光敏活性润滑液；所述的光敏活性润滑液包含光敏引发剂，所述的光敏引发剂经紫外光的诱导作用与硬脆工件材料发生化学反应；所述磨削加工单元包括金刚石磨头，所述金刚石磨头偏置于激光发射头、紫外光发射头及喷雾装置，通过激光、紫外光和金刚石磨头的相互配合，在光敏润滑液的催化下对工件进行激光及紫外光辅助磨削加工；进行激光-微波单点车复合加工时，激光加工单元的激光生成组件的激光发射头直接与激光发生器相连，微波生成组件的微波发射头与微波发生器相连；激光发射头、微波发射头、液体喷雾装置位于回转工作台的一侧；车削加工单元安置于机床Z轴可移动平台上；所述的液体喷雾装置用于向工件表面喷射热敏活性润滑液；所述的热敏活性润滑液包含热敏引发剂，所述的热敏引发剂经微波的诱导作用与软脆工件材料发生化学反应；所述车削加工单元包括单点金刚石车刀，所述单点金刚石车刀偏置于激光发射头、微波发射头及喷雾装置，通过激光、微波和单点金刚石车刀的相互配合，在热敏润滑液的催化下对工件进行激光及微波辅助车削加工。

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百度查询： 燕山大学 激光-紫外光-微波多能场耦合超精密加工系统与方法