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申请/专利权人：艾生科(江苏)化工科技有限公司

摘要：本发明属于半导体技术领域，公开了半导体工艺设备的气体混合装置，包括控制箱：控制箱用于对进入的载气流量进行控制；连接管道，连接管道固定安装于控制箱一端且用于对工艺气体进行导流；混合机构，混合机构固定安装于连接管道一端用于对载气和工艺气体进行混合；混合釜，混合釜套接于混合机构外侧用于对工艺气体进行阻隔；进气管，进气管嵌入安装于混合釜顶端两侧用于和进气管路进行连接；通过对工艺气体的对冲、截留和搅拌，对冲、截留和搅拌可以帮助工艺气体混合更加均匀，确保混合气体中各组分的浓度均匀分布，从而保证工艺过程的稳定性和可靠性，同时可以促进分子之间的相互作用和扩散。

主权项：1.一种半导体工艺设备的气体混合装置，其特征在于，包括：控制箱（1），用于对进入的载气流量进行控制；连接管道（2），连接管道（2）固定安装于控制箱（1）一端且用于对工艺气体进行导流；混合机构（7），混合机构（7）固定安装于连接管道（2）一端用于对载气和工艺气体进行混合；混合釜（3），混合釜（3）套接于混合机构（7）外侧用于对工艺气体进行阻隔；进气管（4），进气管（4）嵌入安装于混合釜（3）顶端两侧用于和进气管路进行连接；匀流板（5），匀流板（5）固定安装于混合釜（3）中部用于对混合后的工艺气体进行分流；气体混合组件（6），气体混合组件（6）固定安装于进气管（4）一端且位于混合釜（3）内部用于工艺气体的混合；其中所述气体混合组件（6）包括固定安装于进气管（4）一端且和混合釜（3）内壁之间固定连接的弧形管（61），两个所述弧形管（61）之间组合成圆形且中心点和混合釜（3）的中心线处于同一垂直线上，两个所述弧形管（61）等距底端交错安装有导流管（62），两个所述导流管（62）之间安装有三通管一（63），所述三通管一（63）底端固定安装有三通管二（66），两个所述三通管二（66）之间安装有汇集三通管（67）；所述三通管一（63）底端和三通管二（66）一端之间安装有阻流管（64），所述阻流管（64）外表面底部套接有弯管（65），所述弯管（65）一端和三通管二（66）另一端固定连接，所述汇集三通管（67）顶端固定安装有排气管（68）；所述阻流管（64）内部固定安装有铰龙（641），所述阻流管（64）内部位于铰龙（641）底端位置处一体成型有十字架（642），所述十字架（642）内部中部转动连接有转动柱（643），所述转动柱（643）外表面位于十字架（642）底端位置处卡接安装有扇叶二（644），所述转动柱（643）外表面底部一体成型有搅拌杆（645）；所述三通管二（66）内壁固定安装有文丘里管（661），所述排气管（68）外表面底部一体成型有圆环（681），所述圆环（681）顶端对称嵌入安装有伸缩杆（682），两个所述伸缩杆（682）一端固定安装有圆盘（683），所述圆盘（683）内壁底端固定安装有锥形体（684）且锥形体（684）的最大外径等于排气管（68）出气孔内径；所述混合机构（7）包括固定安装于连接管道（2）一端的导向管（73），所述导向管（73）外表面顶部一体成型有引流管（72），所述引流管（72）内壁一体成型有弧形板（710）且弧形板（710）底端位于导向管（73）内壁顶端位置处，所述引流管（72）顶端一体成型有导流罩（71）且导流罩（71）和混合釜（3）内壁之间固定连接，所述导向管（73）内壁通过过盈配合连接有轴承（74），所述轴承（74）内部通过过盈配合连接有连接柱（75），所述连接柱（75）顶端位于导流罩（71）顶端位置处安装有扇叶一（76），所述连接柱（75）外表面位于导向管（73）内部位置处等距安装有倾斜板（77）。

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百度查询： 艾生科(江苏)化工科技有限公司 半导体工艺设备的气体混合装置及半导体工艺设备