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光照射装置 

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申请/专利权人:浜松光子学株式会社

摘要:光照射装置1具备:壳体10;光源部40,其容纳于壳体10,从壳体10的光射出窗12w照射光;以及冷却部50,其设置于壳体10,通过气体将光源部40所发出的热排出至壳体10之外。冷却部50具有:导入部51,其接受气体的供给;及热交换部70,其使气体接收光源部40所发出的热;以及流通部60,其从导入部51将气体导引至热交换部70。流通部60包含:第一流路61,其从导入部51接受气体,并且沿Z方向延伸;以及第二流路62,其从第一流路61接受气体,并且沿Y方向延伸,且连接于热交换部70。第一流路61包含流路面积比导入部的流路面积大的部分。

主权项:1.一种光照射装置,其中,具备:壳体;光源部,其容纳于所述壳体,从所述壳体的光射出窗照射光;以及冷却部,其设置于所述壳体,通过气体将所述光源部所发出的热排出至所述壳体之外,所述冷却部具有:导入部,其接受被压缩了的所述气体的供给;及热交换部,其使所述气体接收所述光源部所发出的热;以及流通部,其从所述导入部将所述气体导引至所述热交换部,所述流通部包含:第一流路,其连接于所述导入部,并且沿第一方向延伸;以及第二流路,其连接于所述第一流路,并且沿与所述第一方向交叉的第二方向延伸,且连接于所述热交换部,所述第一流路包含流路面积比所述导入部的流路面积大的部分,所述第一流路连接于所述第二流路的位置为所述第二流路所延伸的方向上的大致中央,所述热交换部具有:接受口,其连接于所述流通部;散热构件,其使所述气体接收所述光源部所发出的热;以及排气口,其将接收了所述光源部所发出的热的所述气体予以排出。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 浜松光子学株式会社 光照射装置

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