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申请/专利权人：积水化学工业株式会社
摘要：一种等离子体照射装置，其具有等离子体照射器2、供电器以及气体供给器，等离子体照射器2具有：框体10；第一盖体20，其具有第一电极和照射口22；第二盖体30，其具有第二电极；延长电极，其从所述第二盖体30朝向所述第一盖体20延伸，与所述第二电极连接且与所述第一电极电分离；放电部，其向所述第一电极与所述延长电极之间放电；以及整流部，其使所述等离子体生成气体沿着所述框体10的内表面且从所述第一电极的方向流向所述第二电极的方向。
主权项：1.一种等离子体照射装置，其中，所述等离子体照射装置具有：等离子体照射器；供电器，其向所述等离子体照射器供电；以及气体供给器，其向所述等离子体照射器供给等离子体生成气体，所述等离子体照射器具有：圆筒状或多边筒状的框体，其具有内部空间；第一盖体，其覆盖所述框体的一端的开口部A，且具有第一电极；第二盖体，其覆盖所述框体的另一端的开口部B，且具有第二电极；延长电极，其从所述第二盖体朝向所述第一盖体延伸，与所述第二电极电连接且与所述第一电极电分离；放电部，其在所述框体内向所述第一电极与所述延长电极之间放电；以及整流部，其使所述等离子体生成气体沿着所述框体的内表面且从所述第一电极的方向流向所述第二电极的方向，所述第一盖体具有等离子体照射口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 积水化学工业株式会社 等离子体照射装置
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