龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：昆山龙腾光电股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种干蚀刻装置，包括第一电极和绝缘边条，第一电极的边缘设置有多个第一通孔；第一电极还包括多个第二通孔，多个第二通孔位于第一通孔靠近第一电极中心的一侧，以持续导入吹扫气体，使得待刻蚀件在刻蚀后处于悬浮状态；绝缘边条围绕第一电极设置，且位于第一通孔远离第一电极中心的一侧，绝缘边条上设置有多个限位模块，限位模块与第一通孔相对设置，限位模块用于在对处于悬浮状态的待刻蚀件导出时，对待刻蚀件进行限位。本实用新型实施例提供的技术方案，待刻蚀件在刻蚀后处于悬浮状态，避免待刻蚀件与第一电极剥离时发生静电现象；并且通过设置多个限位模块防止刻蚀完成并处于悬浮状态的待刻蚀件在导出过程中发生偏移。
主权项：1.一种干蚀刻装置，其特征在于，包括：第一电极，所述第一电极位于真空腔内，所述第一电极的边缘设置有多个第一通孔；所述第一电极还包括多个第二通孔，所述多个第二通孔位于所述第一通孔靠近所述第一电极中心的一侧，以持续导入吹扫气体，使得待刻蚀件在刻蚀后处于悬浮状态；绝缘边条，围绕所述第一电极设置，且位于所述第一通孔远离所述第一电极中心的一侧，所述绝缘边条上设置有多个限位模块，所述限位模块与所述第一通孔相对设置，所述限位模块用于在对处于悬浮状态的所述待刻蚀件导出时，对所述待刻蚀件进行限位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 昆山龙腾光电股份有限公司 干蚀刻装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号