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申请/专利权人:江西磐盟半导体科技有限公司
摘要:本实用新型公开一种结晶前沿氧碳浓度稀释装置,涉及氧碳浓度稀释装置领域。该结晶前沿氧碳浓度稀释装置包括加热熔硅桶和安装在加热熔硅桶顶部的定位框,加热熔硅桶设置有热屏扰流板,热屏扰流板的顶部固定连接有连接线,定位框用于定位连接线,热屏扰流板的顶部设置有固定底盘,固定底盘固定热屏扰流板的位置,固定底盘的顶部活动卡接有固定框,固定底盘的顶部固定连接有缠线杆,缠线杆的外周壁固定连接有定位杆。该结晶前沿氧碳浓度稀释装置对温场位置进行固定,使得温场在使用过程中不会出现下坠,进而使得装置生产出的产品精确度更高。
主权项:1.一种结晶前沿氧碳浓度稀释装置,包括加热熔硅桶(1)和安装在加热熔硅桶(1)顶部的定位框(3),所述加热熔硅桶(1)设置有热屏扰流板(2),所述热屏扰流板(2)的顶部固定连接有连接线(201),所述定位框(3)用于定位连接线(201),其特征在于,所述热屏扰流板(2)的顶部设置有固定底盘(4),所述固定底盘(4)固定热屏扰流板(2)的位置,所述固定底盘(4)的顶部活动卡接有固定框(405),所述固定底盘(4)的顶部固定连接有缠线杆(402),所述缠线杆(402)的外周壁固定连接有定位杆(403)。
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