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申请/专利权人：深圳市兴华峰净化科技发展有限公司
摘要：本实用新型公开了一种半导体厂房洁净室空气净化装置，包括洁净室侧墙与清洁室墙面组成的清洁室，清洁室内部中心固定安装能够对进入半导体厂房的工作人员进行清洁并净化空气的净化装置，所述净化装置还能够避免工作人员进入厂房时将灰尘颗粒带入厂房内部。本实用新型属于洁净室空气净化技术领域，本实用新型的目的在于解决现有技术中，工作人员进出洁净室时会导致厂房内与洁净室内的空气发生交换，此时洁净室内的工作人员身上的灰尘等有害气体就会进入产房内的问题。达到的技术效果为：工作人员依次通过洁净室前门，两道推拉门，以及洁净室后门再进入厂房，洁净室后门的墙壁上的风扇组二吹向工作人员，避免空气从后门进入厂房。
主权项：1.一种半导体厂房洁净室空气净化装置，包括洁净室侧墙11与清洁室墙面12组成的清洁室，所述清洁室墙面12分别固定安装清洁室前门13以及清洁室后门14，清洁室顶部设有天花板21以及地板31，其特征在于：清洁室内部中心固定安装能够对进入半导体厂房的工作人员进行清洁并净化空气的净化装置，所述净化装置还能够避免工作人员进入厂房时将灰尘颗粒带入厂房内部。
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