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夹具、转运装置及水爆机 

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申请/专利权人:湖南微朗科技有限公司

摘要:本申请实施例涉及多晶硅生产技术领域,尤其公开了一种夹具、转运装置及水爆机,应用于运载硅棒或硅块,夹具包括支撑板和连接组件。支撑板的数量为多个,多个支撑板沿第二方向间隔设置,每个支撑板沿第一方向设置有相对的第一端和第二端,每个支撑板上设有凹槽,沿第二方向,多个支撑板的凹槽连通以形成收容槽,收容槽用于承载硅棒或者硅块。连接组件分别连接多个支撑板的第一端。其中,第一方向与第二方向垂直。通过上述结构,当需要运载硅棒或硅块时,可以放置于收容槽,从而防止硅棒或硅块在第一方向上的活动;并且由于多个支撑板间隔设置,从而防止硅棒或硅块在第二方向上的活动,使得夹具可以运载硅棒或硅块,无需更换运载台提高工作效率。

主权项:1.一种夹具,应用于运载硅棒或硅块,其特征在于,包括:支撑板,所述支撑板的数量为多个,多个所述支撑板沿第二方向间隔设置,每个所述支撑板沿第一方向设置有相对的第一端和第二端,每个所述支撑板上设有凹槽,沿所述第二方向,多个所述支撑板的凹槽连通以形成收容槽,所述收容槽用于承载硅棒或者硅块;连接组件,所述连接组件分别连接多个所述支撑板的第一端;其中,所述第一方向与所述第二方向垂直。

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权利要求:

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