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申请/专利权人:拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要:本实用新型提供了一种抽气上盖、气体传输机构,以及薄膜沉积装置。所述抽气上盖包括:上盖本体,包括屏蔽罩上板及多块屏蔽罩侧板;以及排风管,经由所述屏蔽罩上板伸入所述上盖本体,用于对所述上盖本体抽气,以带走位于所述上盖本体的加热带产生的颗粒污染。基于上述结构,本实用新型可以用于对上盖两侧进行均匀抽气,从而解决升温后加热带引起的颗粒度问题,以提高薄膜的质量和均匀性。
主权项:1.一种抽气上盖,其特征在于,包括:上盖本体,包括屏蔽罩上板及多块屏蔽罩侧板;以及排风管,经由所述屏蔽罩上板伸入所述上盖本体,用于对所述上盖本体抽气,以带走位于所述上盖本体的加热带产生的颗粒污染。
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百度查询: 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 抽气上盖、气体传输机构及薄膜沉积装置
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