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申请/专利权人:惠州艺都宇正数码科技有限公司
摘要:本实用新型属于半导体生产技术领域,具体的说是一种薄膜喷涂设置,包括喷涂装置本体;所述喷涂装置本体顶部滑动连接第二滑块,所述第二滑块端部固接有喷涂机,所述喷涂装置本体中部固接有放置板,所述喷涂装置本体两侧顶部固接有两个支撑架,两个所述支撑架呈对立设置,两个所述支撑架中部固接有第一连接杆,所述第一连接杆端部固接有第二连接杆,通过风扇能够增加薄膜喷涂后的固化速度,并且能够调整方向使薄膜喷涂后固化更加均匀,灵活调整至所需要的方向,增加薄膜喷涂固化时间能够增强薄膜的稳定性,使薄膜在加工和使用过程中更加耐久,减少薄膜喷涂过程中产生收缩现象,并且能够增加薄膜的质量。
主权项:1.一种薄膜喷涂设置,包括喷涂装置本体9;其特征在于:所述喷涂装置本体9顶部滑动连接第二滑块93,所述第二滑块93端部固接有喷涂机91,所述喷涂装置本体9中部固接有放置板92,所述喷涂装置本体9两侧顶部固接有两个支撑架1,两个所述支撑架1呈对立设置,两个所述支撑架1中部固接有第一连接杆11,所述第一连接杆11端部固接有第二连接杆12,所述第二连接杆12端部固接有电机13,所述电机13输出端固接有风扇14,其中一个第一连接杆11靠近端部侧壁固接有多组固定槽15,所述支撑架1侧壁滑动连接有推杆16,所述推杆16端部插入在其中一个固定槽15内,所述推杆16另一端与支撑架1侧壁固接有弹簧17。
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