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薄膜表面凸点高度测量装置 

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申请/专利权人:江阴纳力新材料科技有限公司

摘要:本实用新型涉及薄膜基材加工技术领域,公开一种薄膜表面凸点高度测量装置,包括辊压装置和检测装置,辊压装置用于对薄膜进行辊压,薄膜表面具有凸点,辊压装置可以将薄膜表面的凸点压小或压除,可提高薄膜的产品质量。检测装置设置于辊压装置的下游,检测装置包括相对设置的第一上辊和第一下辊,薄膜经过辊压装置辊压后,将继续流向第一上辊和第一下辊之间,第一上辊的外周面设置有压敏层,在利用第一上辊和第一下辊对薄膜进行再次辊压时,压敏层将抵压薄膜表面的凸点,而不同高度的凸点使得不同区域的压敏层受到的压力信号不同,可反馈薄膜表面不同区域的凸点高度,以实现对薄膜凸点的无损检测。

主权项:1.薄膜表面凸点高度测量装置,其特征在于,包括:检测装置1,包括第一上辊11、第一下辊12和处理器,所述第一上辊11的外周面设置有压敏层111,薄膜能够穿设于所述第一上辊11和所述第一下辊12之间,以使所述压敏层111抵压所述薄膜上的凸点,所述压敏层111与所述处理器信号连接,所述处理器用于根据所述压敏层111输出的压力信号反馈所述凸点的高度;辊压装置2,设置于所述检测装置1的上游,所述辊压装置2用于辊压所述薄膜。

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