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申请/专利权人：大连恒坤新材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于前驱体固体源的钢瓶，其包括上盖、前驱体源装载盘、螺旋通道、格栅、进气阀门和出气阀门，所述前驱体源装载盘的上侧设有所述上盖，所述上盖的上侧设有所述进气阀门和所述出气阀门，所述前驱体源装载盘内部设有所述螺旋通道，所述螺旋通道依次形成多个圆环形载气通道，载气从所述进气阀门进入所述圆环形载气通道的进气口处，沿所述圆环形载气通道运动，从所述圆环形载气通道的出气口处经所述出气阀门排出；所述圆环形载气通道的径向方向设有多个所述格栅；本申请有利于对固体前驱体进行均匀加热，减小了前驱体存储设备内部的固体物质残留和结焦，能够使惰性气体和前驱体气体的混合更均匀，提高前驱体气体的产出质量。
主权项：1.一种用于前驱体固体源的钢瓶，其特征在于：包括上盖1、前驱体源装载盘2、螺旋通道3、格栅4、进气阀门5和出气阀门6；所述前驱体源装载盘2的上侧设有所述上盖1，所述上盖1和所述前驱体源装载盘2的中心相对应，所述上盖1的上侧设有所述进气阀门5和所述出气阀门6，所述出气阀门6设于所述上盖1的中心处，所述进气阀门5设于靠近所述上盖1的边缘处；所述前驱体源装载盘2内部设有所述螺旋通道3，所述螺旋通道3以所述前驱体源装载盘2的中心为中心，向外依次形成多个圆环形载气通道10，载气从所述进气阀门5向下运动进入所述圆环形载气通道10的进气口处，沿所述圆环形载气通道10运动，从所述圆环形载气通道10的出气口处向上运动经所述出气阀门6排出；所述圆环形载气通道10的径向方向设有多个所述格栅4，所述格栅4的底部固定连接于所述前驱体源装载盘2的底部，所述格栅4的两端设于所述螺旋通道3上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 大连恒坤新材料有限公司 一种用于前驱体固体源的钢瓶
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