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申请/专利权人：江苏汇成光电有限公司
摘要：本发明涉及电子元器件存储技术领域，且公开了一种含有温湿度检测装置的氮气柜及其使用方法，所述箱体内设有电源、控制主板和数显流量计，所述控制主板和数显流量计均与电源电连接，所述湿度检测单元设置于箱体内，其包括依次连接的冷凝器、称重盒和电磁阀，所述冷凝器输入端与采样管的输出端连接，所述称重盒与数显流量计输入端相连接，所述数显流量计的输出端连接有氮气流量泵，所述氮气流量泵与外部氮气瓶相连接，所述采样管的输入端延伸至柜体内部，所述温度检测器安装在柜体内部。本发明利用控制主板实现对氮气柜内温湿度的检测以及氮气含量的控制，确保在氮气柜内温湿度出现异常时能够进行自动调节，保持对晶圆产品的保护效果。
主权项：1.一种含有温湿度检测装置的氮气柜，其特征在于：包括箱体1、采样管2、温度检测器3、湿度检测单元和柜体5，所述箱体1内设有电源11、控制主板12和数显流量计13，所述控制主板12和数显流量计13均与电源11电连接，所述湿度检测单元设置于箱体1内，其包括依次连接的冷凝器4、称重盒41和电磁阀42，所述冷凝器4输入端与采样管2的输出端连接，所述称重盒41与数显流量计13输入端相连接，所述数显流量计13的输出端连接有氮气流量泵14，所述氮气流量泵14与外部氮气瓶相连接，所述温度检测器3、数量流量计13、氮气流量泵14、称重盒41以及电磁阀42均与控制主板12相连接，所述采样管2的输入端延伸至柜体5内部，所述温度检测器3安装在柜体5内部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏汇成光电有限公司 一种含有温湿度检测装置的氮气柜及其使用方法
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