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申请/专利权人：深圳市百利合新材料发展有限公司
摘要：本发明公开了一种光刻胶相容性检测系统，涉及了半导体制造领域；本发明通过设定光刻胶检测的i个温度条件，并从光刻胶存储环境中随机抽取与设定温度条件数量相对应的i个光刻胶样品，并将其放置到对应温度条件下的检测位置上，分析各组光刻胶样品在不同温度条件下检测过程中的热稳定评估指数、热膨胀评估指数以及转化评估指数，由此构建对应温度条件下光刻胶的立体矩形模型，这一创新方法为光刻胶的热相容性提供了量化评估，为光刻胶的热相容性提供了量化评估。
主权项：1.一种光刻胶相容性检测系统，其特征在于，包括：条件设定模块：包括有温度控制单元、加热单元以及恒温保持单元；温度控制单元用于设定光刻胶检测的i个温度条件，其中i表示设定温度条件的总数，对应温度条件用编号g表示，g＝1、2...i；预设各温度条件下的特定温度点、加速速率以及温度梯度；加热单元用于按照对应温度条件下的温度梯度和加速速率对光刻胶样品进行加热；恒温保持单元用于在对应温度条件下的特定温度点保持恒温；样品抽取模块：从光刻胶存储环境中随机抽取与设定温度条件数量相对应的i个光刻胶样品，并将其放置到对应温度条件下的检测位置上；数据检测模块：采集并分析各组光刻胶样品在不同温度条件下检测过程中的相关参数，并发送至数据分析模块；相关参数包括光刻胶在对应温度条件下的热稳定评估指数μg、热膨胀评估指数ηg以及转化评估指数λg；数据分析模块：接收光刻胶样品在对应温度条件下的热稳定评估指数μg、热膨胀评估指数ηg以及转化评估指数λg，由此构建对应温度条件下光刻胶样品的热相容评估模型并发送至结果评估模块，基于各组构建的热相容评估模型，得到不同温度条件下光刻胶样品的相容性评分；结果评估模块：接收不同温度条件下光刻胶样品所构建的热相容评估模型和相容性评分，并对当前批次光刻胶的热相容性进行综合评估。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市百利合新材料发展有限公司 一种光刻胶相容性检测系统
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