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申请/专利权人：恒脉微电子(杭州)有限公司
摘要：本发明涉及一种微型集成式压电泵装置，属于压电泵技术领域，解决了现有技术中压电泵集成性不足和适配性较差，难以满足日益微型化和精细化的应用需求的问题，包括：泵体，该泵体包括由上至下装配的：顶部散热板、流道板、谐振板、内嵌振子的外框以及电极板；以及安装在所述泵体下方的阀体，该阀体包括由上至下装配的：第一固定层，弹性薄膜层，第二固定层，用于固定安装所述第一固定层、弹性薄膜层和第二固定层的侧壁部，以及与侧壁部的底表面固定并作为阀体的底板的底部基板；其中，所述底部基板作为微型集成式压电泵装置的底板，对所述泵体供电和进行控制；所述振子包括弹性板和压电元件；所述外框具有用于容纳振子的方形开口。
主权项：1.一种微型集成式压电泵装置，其特征在于，包括：泵体，该泵体包括由上至下装配的：顶部散热板、流道板、谐振板、内嵌振子的外框以及电极板；以及安装在所述泵体下方的阀体，该阀体包括由上至下装配的：第一固定层，弹性薄膜层，第二固定层，用于固定安装所述第一固定层、弹性薄膜层和第二固定层的侧壁部，以及与侧壁部的底表面固定并作为阀体的底板的底部基板；其中，所述底部基板作为微型集成式压电泵装置的底板，对所述泵体供电和进行控制；其中，所述振子包括弹性板和压电元件，该弹性板具有居中的补强部和围绕该补强部的支撑架，该压电元件固定于补强部的下表面；且其中，所述外框具有用于容纳振子的方形开口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 恒脉微电子(杭州)有限公司 一种微型集成式压电泵装置
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