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申请/专利权人：中建材(株洲)光电材料有限公司;邯郸中建材光电材料有限公司
摘要：本发明属于半导体膜层蒸镀技术领域，公开了一种近空间升华沉积系统及其使用方法，近空间升华沉积系统中运输组件设置于腔体内底面；喷涂组件安装于运输组件上方；喷涂组件中源体上部的一侧与导流板的入口相连通，导流板的出口与喷口腔室的入口相连通，喷口腔室的出口朝下设置并对准运输组件；腔体上方设置有加料漏斗，加料漏斗的底端通过气动控制阀与源体上端相连通；源体的内底面的中部设置有分流装置，源体上设置有加热装置。使用方法包括以下步骤：将物料均匀填充至源体内底部；开启加热装置，对源体进行加热；升华的物料从喷口腔室下端的喷嘴喷涂在基板上，完成镀膜。本发明提升了工作效率，保证基板可以实现均匀镀膜。
主权项：1.一种近空间升华沉积系统，其特征在于，包括腔体9、喷涂组件和运输组件，腔体9的两端分别开设有腔体入口和腔体出口，运输组件设置于腔体入口与腔体出口之间的腔体9内底面，用以通过运输组件将从腔体入口进入腔体9内的基板11从腔体出口输送至腔体9外；所述喷涂组件安装于运输组件上方的腔体9上，用以对运输组件上的基板11进行镀膜；所述喷涂组件包括均安装于运输组件上方腔体9上的源体3、导流板7和下端安装有喷嘴的喷口腔室8，源体3上部的一侧与导流板7的入口相连通，导流板7的出口与喷口腔室8的入口相连通，喷口腔室8的出口朝下设置并对准运输组件，用以通过喷口腔室8对运输组件上的基板11进行镀膜；所述腔体9上方设置有用以添加物料6的加料漏斗1，加料漏斗1的底端连接气动控制阀2，气动控制阀2通过管道与源体3上端相连通；所述源体3的内底面的中部设置有分流装置5，源体3内的中部和或源体3四周设置有加热装置。
全文数据：
权利要求：
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