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申请/专利权人：旺矽科技股份有限公司
摘要：本发明涉及一种薄膜探针卡及薄膜探针卡的制造方法，薄膜探针卡的探针包括一连接于薄膜线路结构之一线路且自薄膜线路结构之一探针凸出表面凸出一高度的基座，以及一自基座凸出一高度的针尖，基座包括沿长度轴向依次自其一第一侧边延伸至一第二侧边的一针尖放置段及一延伸段，针尖是位于针尖放置段且具有一连接于基座的固定端部，针尖放置段的宽度大于针尖的固定端部的宽度，针尖的中心到基座的第一侧边的距离小于针尖的中心到基座的第二侧边的距离；本发明可使得薄膜探针卡的探针间距小、结构强度高，且达到测试所需的探针高度。
主权项：1.一种薄膜探针卡，其特征在于，包括：一薄膜装置，所述薄膜装置包括：一薄膜线路结构，包括至少一线路，以及一探针凸出表面；以及多个探针，设置在所述薄膜线路结构上且自所述探针凸出表面凸伸而出，各所述探针能定义出相互垂直的一高度轴向、一长度轴向及一宽度轴向，各所述探针都包括：一基座，连接在所述薄膜线路结构的线路且自所述探针凸出表面沿所述高度轴向的凸出一第一高度，所述基座包括朝向相反方向的一第一侧边及一第二侧边、一自所述第一侧边沿所述长度轴向地朝向所述第二侧边延伸的针尖放置段，以及一自所述针尖放置段沿所述长度轴向地延伸至所述第二侧边的延伸段，所述针尖放置段能在所述宽度轴向上定义出一宽度；以及一针尖，由雷射加工电镀而成型，所述针尖自所述基座沿所述高度轴向地凸出一第二高度且通过所述基座与所述薄膜线路结构的线路电连接，所述针尖位于所述基座的针尖放置段，所述针尖包括一连接于所述基座的固定端部，所述固定端部能在所述宽度轴向上定义出一宽度，所述针尖放置段的宽度大于所述针尖之固定端部的宽度；其中，各所述探针能在所述长度轴向上定义出一自所述针尖的一中心到所述基座的第一侧边的第一距离，以及一自所述针尖的中心到所述基座的第二侧边的第二距离，所述第一距离小于所述第二距离。
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