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申请/专利权人：四川英杰电气股份有限公司
摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种输出对称正负电压的高压电路及其控制方法。电路包括：依次连接的全桥逆变电路、变压器、整流电路、换向电路和负载；全桥逆变电路将DCAC逆变转换，通过变压器进行升压，整流电路将升高后的电压进行ACDC转换，输出直流电压到换向电路；换向电路输出端连接负载，通过换向电路改变负载的电流方向，以实现负载上残留电荷的中和或反向供电；其中，整流电路包括电容、电阻和二极管；变压器副边的第一抽头连接有电容C2、C3，通过在整流电路一端增加采样电阻R2和R3，可以检测正负两极输出电流值，从而用简单的方式准确检测出电流，可准确反应和控制输出电压电流情况，实现对负载中和残留电荷的准确控制。
主权项：1.一种输出对称正负电压的高压电路，包括依次连接的全桥逆变电路、变压器、整流电路，其特征在于，还包括与整流电路连接的换向电路和电流采集电路；所述换向电路输出端连接负载，通过所述换向电路改变负载的电流方向，以实现负载上残留电荷的中和；其中，整流电路包括电容和二极管；电容C2和电容C3的一端均与变压器副边的第一抽头连接，二极管D1和二极管D2同向串联，形成第一二极管串联支路，电容C2的另一端与二极管D1和二极管D2的中点连接，电容C4并联在二极管串联支路，二极管D1的阴极依次经过换向开关和负载后连接至变压器副边的第二抽头；二极管D3和二极管D4同向串联，形成第二二极管串联支路，电容C2的另一端与二极管D3和二极管D4的中点连接，电容C5并联在二极管串联支路，二极管D3的阳极依次经过换向开关和负载后连接至变压器副边的第二抽头；所述电流采集电路包括设置于二极管D2的阳极、变压器副边的第二抽头之间的第一检测支路、设置于二极管D3的阴极、变压器副边的第二抽头之间的第二检测支路。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 四川英杰电气股份有限公司 一种输出对称正负电压的高压电路及其控制方法
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