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申请/专利权人：迈络思科技有限公司
摘要：本发明公开了用于高带宽和边模抑制的具有多层氧化物孔口的模式滤波激光器。本发明的一些实施例针对用于高带宽和边模抑制的具有多层氧化物孔口的模式滤波VCSEL。氧化物孔口可以包括具有不同铝分数的多个层，所述不同铝分数被配置成在保持纵向限制的同时增加VCSEL的SMSR。氧化物孔口可以由VCSEL的邻近有源区的反射镜层形成。反射镜层可以包括最靠近有源区的第一外延层，所述第一外延层具有被选择为纵向限制VCSEL的光场的第一铝分数。反射镜层可包括第二外延层，该第二外延层具有足够低的第二铝分数以防止所述第二外延层的实质性氧化。另外，反射镜层可包括具有大于第一铝分数及第二铝分数的第三铝分数的第三外延层。第三外延层可被氧化以形成氧化物孔口。
主权项：1.一种激光器，包括：有源区，所述有源区被配置为发射光，其中所述有源区限定光轴；模式滤波器，所述模式滤波器沿着所述光轴定位，其中所述模式滤波器被配置为抑制所述光的边模；以及反射镜层，所述反射镜层沿着所述光轴设置且定位于所述有源区与所述模式滤波器之间，其中所述反射镜层包括：第一部分，所述第一部分邻近所述有源区，所述第一部分具有第一铝分数；第二部分，所述第二部分邻近所述第一部分，所述第二部分具有小于所述第一铝分数的第二铝分数；以及第三部分，所述第三部分邻近所述第二部分，所述第三部分具有大于所述第一铝分数的第三铝分数，其中所述第二部分设置在所述第一部分与所述第三部分之间，其中所述第三部分中的铝被氧化以形成氧化物孔口，其中所述氧化物孔口被配置为增加所述激光器的边模抑制比，以及其中所述反射镜层的所述第一部分被配置为提供对所述光的光场的高纵向限制。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 迈络思科技有限公司 用于高带宽和边模抑制的具有多层氧化物孔口的模式滤波激光器
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