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申请/专利权人：浜松光子学株式会社
摘要：固体摄像元件具备：半导体基板；第1元件部，其形成于半导体基板；及第2元件部，其形成于半导体基板。第1元件部具有：受光部，其根据光的入射产生电荷；及传送部，其传送电荷。传送部具有：第1传送电极及第2传送电极，其配置于半导体基板的电荷传送区域上，排列于电荷的传送方向；及排出栅极电极，其配置于沿电荷传送区域的半导体基板的电荷排出区域上。第1传送电极作为第1层形成，第2传送电极及排出栅极电极作为第2层形成。第1传送电极包含与第2传送电极的一部分重叠的部分、及与排出栅极电极的一部分重叠的部分。第2传送电极与排出栅极电极分开。
主权项：1.一种固体摄像元件，其中，具备：半导体基板；第1元件部，其形成于所述半导体基板；及第2元件部，其形成于所述半导体基板，所述第1元件部具有：受光部，其根据光的入射而产生电荷；及传送部，其传送所述电荷，所述第2元件部构成为进行向所述第1元件部的信号的发送及来自所述第1元件部的信号的接收中的至少一者，所述传送部具有：第1传送电极及第2传送电极，其配置于所述半导体基板的电荷传送区域上，且排列于所述电荷的传送方向；及排出栅极电极，其配置于沿着所述电荷传送区域的所述半导体基板的电荷排出区域上，所述第1传送电极作为第1层形成，所述第2传送电极及所述排出栅极电极作为与所述第1层不同的第2层形成，在自所述半导体基板的厚度方向观察的情况下，所述第1传送电极包含与所述第2传送电极的一部分重叠的部分、及与所述排出栅极电极的一部分重叠的部分，在自所述半导体基板的所述厚度方向观察的情况下，所述第2传送电极与所述排出栅极电极分开。
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