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申请/专利权人：中国科学院力学研究所
摘要：本发明提出了一种锡污染的去除方法，包括以下步骤：步骤一、通过激光照射熔融锡液滴使其飞溅；步骤二、飞溅的锡液撞击到疏锡材料不锈钢的倾斜表面，当同时满足疏锡材料不锈钢的表面温度条件、锡液温度条件、疏锡材料不锈钢的表面粗糙度条件、以及疏锡材料不锈钢的表面倾斜角度条件时，在该倾斜表面产生滑动滚动行为；步骤三、锡液滴沿着倾斜金属材料表面传输到底部的锡液收集器中保存。本发明利用疏锡的金属材料如不锈钢进行保护，可使飞溅的锡滴在不锈钢表面无损传输，实现对锡液滴污染的原位自清洁，从而解决在激光与熔融锡滴相互作用产生极紫外光源的过程中，熔融锡滴被打碎飞溅造成污染的难题。
主权项：1.一种锡污染的去除方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、通过激光照射熔融锡液滴使其飞溅；步骤二、飞溅的锡液撞击到疏锡材料不锈钢的倾斜表面，当同时满足疏锡材料不锈钢的表面温度条件、锡液温度条件、疏锡材料不锈钢的表面粗糙度条件、以及疏锡材料不锈钢的表面倾斜角度条件时，在该倾斜表面产生滑动滚动行为；步骤三、锡液滴沿着倾斜金属材料表面传输到底部的锡液收集器中保存。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院力学研究所 一种锡污染的去除方法
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