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申请/专利权人：南京理工大学
摘要：本发明公开了一种制备纳米粉体的高真空多靶材制粉系统，实现纳米粉体在高真空环境下的高效制备。本发明采用多道高功率皮秒激光同时对惰性气体氛围中的多个靶材进行轰击，从而加速靶材原子的高速蒸发，促进制备的金属、合金或化合物气体或等离子体快速凝结成粉。本发明可以通过设计多束激光各自参数的配比，从而调节多个靶材的激光照射的时间比例，使多块靶材以不同频率形成蒸汽或等离子体，并实现其充分混合，以此实现对制备粉体的成分调控，从而制备出单一靶材无法制备的纳米粉体成分。本发明的产粉量将达到同类设备的五倍以上，且能够极大地扩展激光惰性气体冷凝法的制备样品种类和范围。
主权项：1.一种制备纳米粉体的高真空多靶材制粉系统，其特征在于，包括主体；主体内部设置有粉体收集装置、冷凝箱与靶材台；粉体收集装置固定在主体内部的底部；冷凝箱从主体内部延伸至冷凝箱顶部封头伸出，出口处为液氮口；顶部封头还设有粉刷接口；主体连接气泵机械泵，同一连接处连接分子泵；主体一侧的两个方向上对称设置激光入射口；主体同一位置上从低到高依次设置真空互联接口、靶材观察窗口；主体上设置地板观察窗口，且地板观察窗口高度与真空互联接口高度相同；主体上还设置有全金属角阀、机械手接口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京理工大学 一种制备纳米粉体的高真空多靶材制粉系统
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