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申请/专利权人：山东大学
摘要：本发明属于晶体缺陷检测技术领域，涉及一种倍半氧化物晶体线缺陷的检测方法。包括如下步骤：对倍半氧化物晶体进行晶片切割，使晶体切割面露出待测晶面；再调整晶体切割面与待测晶面的方向误差，对调整后的晶体切割面研磨抛光获得预处理晶体；将预处理晶体浸入至磷酸溶液中加热至155~165℃进行腐蚀；对腐蚀完全后晶体表面的缺陷进行检测。本发明的检测方法能够较好地显露倍半氧化物晶体线缺陷，便于观察位错腐蚀像，从而为准确计算晶体中腐蚀坑密度、评估晶体质量提供基础。
主权项：1.一种倍半氧化物晶体线缺陷的检测方法，其特征是，包括如下步骤：对倍半氧化物晶体进行晶片切割，使晶体切割面露出待测晶面；再调整晶体切割面与待测晶面的方向误差，对调整后的晶体切割面研磨抛光获得预处理晶体；将预处理晶体浸入至磷酸溶液中加热至155~165℃进行腐蚀；对腐蚀完全后晶体表面的缺陷进行检测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东大学 一种倍半氧化物晶体线缺陷的检测方法
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