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申请/专利权人:彩虹(合肥)液晶玻璃有限公司
摘要:本发明提供TFT玻璃加工用铂金通道防氧化控制装置及方法,包括铂金通道,铂金通道的内部开设有水平分布的玻璃液流通腔,玻璃液流通腔的外圈布设有调温管组;排气封堵机构设于玻璃液流通腔的内部顶部;铂金通道的内部顶部安装有排气组件,排气组件的入口并联有惰性气体储存罐、除湿器,排气组件的出口与玻璃液流通腔的内部顶部平齐;排气封堵机构包括采样封堵组件、环境监测模组。S1、控制准备:S2、气体环境监测:S3、温度环境监测:本发明当氧气过多或惰性气体过少时,均可充入惰性气体至铂金通道内,使得铂金通道的气体环境保持在惰性环境下,当铂金通道内的水蒸汽含量超标时,可通过除湿器降低铂金通道的蒸汽量。
主权项:1.TFT玻璃加工用铂金通道防氧化控制装置,其特征在于:包括铂金通道,铂金通道的内部开设有水平分布的玻璃液流通腔,玻璃液流通腔的外圈布设有调温管组;铂金通道的内部顶部中线处安装有第一气动杆,第一气动杆的底端设有排气封堵机构,排气封堵机构设于玻璃液流通腔的内部顶部;铂金通道的内部顶部安装有排气组件,排气组件的入口并联有惰性气体储存罐、除湿器,排气组件的出口与玻璃液流通腔的内部顶部平齐;排气封堵机构包括采样封堵组件、环境监测模组;排气封堵机构具有收缩和伸出两个状态:收缩状态下,排气封堵机构的顶面与铂金通道贴合以封堵排气组件出口,采样封堵组件处于封闭状态;伸出状态下,第一气动杆驱动排气封堵机构向下运动,排气组件的出口外露,采样封堵组件处于打开状态,使玻璃液流通腔内的气体进入环境监测模组。
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