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申请/专利权人：迈可晟太阳能有限公司
摘要：本文描述了使用激光束对半导体结构进行局部图案化和金属化，例如微电子装置、半导体基板和或太阳能电池。例如，一种制造太阳能电池的方法包括提供其上具有居间层的基板。所述方法还包括将金属箔定位在所述居间层正上方。所述方法还包括将所述金属箔暴露于激光束，其中将所述金属箔暴露于所述激光束在所述居间层中形成开口，并形成以电气方式连接至所述基板被所述开口暴露的部分的多个导电触点结构。
主权项：1.一种制造太阳能电池的方法，所述方法包括：提供基板，所述基板上具有居间层，其中所述居间层具有待形成在其中的开口；将金属箔定位在所述居间层中的所述开口上方；以及将所述金属箔暴露于激光束，其中将所述金属箔暴露于所述激光束形成与所述基板的被所述开口暴露的部分以电气方式连接的多个导电触点结构，并且所述激光图案化所述金属箔，其中所述导电触点结构包括位于所述开口内的所述金属箔的局部沉积金属部分，所述局部沉积金属部分与所述金属箔的未暴露部分彼此附接，对附接部分进行图案化以弱化所述附接部分，并且去除未暴露于所述激光束的部分所述金属箔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 迈可晟太阳能有限公司 使用激光束对半导体结构进行局部图案化和金属化
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