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真空制程装置 

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申请/专利权人:辉能科技股份有限公司

摘要:本实用新型提供一种真空制程装置,该真空制程装置设计为具有制程腔室、入料腔室以及出料腔室等多个腔室,并配合其之间的第一内部阀门与第二内部阀门关闭时,制程腔室的真空度高于入料腔室与出料腔室的真空度,而可通过入料腔室与出料腔室来进行进料或出料,于此同时,因制程腔室的真空度仍旧维持制程所需状态,而能够持续于进料或出料的过程中进行真空加工制程,达到不停机的连续真空制程加工。

主权项:1.一种真空制程装置,其特征在于,该真空制程装置包含有:一入料腔室,其内设置一第一入料装置;一制程腔室,其与该入料腔室经由一可启闭式第一内部阀门连接,该制程腔室内设置一第二入料装置、一第一出料装置,以及一设置于该第二入料装置与该第一出料装置之间的加工区;一第一出料腔室,其与该制程腔室经由一可启闭式第二内部阀门连接,该第一出料腔室内设置一第二出料装置;其中,该第二入料装置具有至少两个替补式入料区料品承架,在一该入料区料品承架装设有一待加工料品并投料至该加工区时,另一该入料区料品承架是储存或接收由该第一入料装置经由该第一内部阀门移转置入的另一待加工料品;其中该第一出料装置具有至少两个替补式出料区料品承架,在一该出料区料品承架接收由该加工区施工后的一已加工料品或废料时,另一该出料区料品承架是将已承载的该已加工料品或废料经由该第二内部阀门移转至该第二出料装置;其中,该第一内部阀门与该第二内部阀门关闭时,该制程腔室的真空度高于该入料腔室与该第一出料腔室的真空度。

全文数据:

权利要求:

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