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申请/专利权人：珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;深圳爱旭数字能源技术有限公司

摘要：本实用新型适用于真空镀膜设备门阀技术领域，提供一种真空腔体水冷翻板门阀及真空镀膜设备，真空腔体水冷翻板门阀包括：阀板组件，阀板组件包括阀板、及设于阀板上的密封圈，阀板组件包括与阀板相接触的水冷通道；与水冷通道的进水口连接的进水软管；与水冷通道的出水口连接的出水软管；沿阀板的长度方向设置的螺杆；与阀板组件相固定并套接在螺杆上的多个连接块，多个连接块沿螺杆长度方向依次间隔设置；与螺杆螺纹连接的多个螺母，每个连接块的两端分别设置有螺母，每个连接块夹紧固定于相邻两个螺母之间；与阀板组件连接的驱动装置。本实用新型的真空腔体水冷翻板门阀可以避免密封圈因高温变形，且阀板密封均匀性好，密封圈不易损坏。

主权项：1.一种真空腔体水冷翻板门阀，其特征在于，包括：阀板组件，所述阀板组件包括阀板、及设于所述阀板上并用于密封真空腔体的阀口的密封圈，所述阀板组件包括与所述阀板相接触的水冷通道；与所述水冷通道的进水口连接的进水软管；与所述水冷通道的出水口连接的出水软管；沿所述阀板的长度方向设置的螺杆；与所述阀板组件相固定并套接在所述螺杆上的多个连接块，多个所述连接块沿所述螺杆长度方向依次间隔设置；与所述螺杆螺纹连接的多个螺母，每个所述连接块的两端分别设置有所述螺母，每个所述连接块夹紧固定于相邻两个所述螺母之间；及与所述阀板组件连接的驱动装置，用于带动所述阀板转动以开闭所述阀口。

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权利要求：

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