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申请/专利权人：吉林麦吉柯半导体有限公司
摘要：本申请实施例提供一种行星盘固定装置，涉及半导体器件制造技术领域。上述装置包括拆卸件及安装件，通过拆卸件将所述安装件安装在所述行星盘盖板及所述行星盘上，或将所述安装件从所述行星盘盖板及所述行星盘上拆卸，安装或拆卸的操作简单，可以有效提高生产效率。
主权项：1.一种行星盘固定装置，其特征在于，应用于行星盘盖板及行星盘上，包括拆卸件及安装件，所述行星盘盖板通过所述安装件与所述行星盘固定；所述拆卸件位于所述安装件背离所述行星盘固定盖板的一侧，所述拆卸件用于将所述安装件安装在所述行星盘盖板及所述行星盘上，或将所述安装件从所述行星盘盖板及所述行星盘上拆卸。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 吉林麦吉柯半导体有限公司 一种行星盘固定装置
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