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一种晶圆片倒角设备 

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申请/专利权人:上海磐盟电子材料有限公司

摘要:本实用新型公开了一种晶圆片倒角设备,具体涉及倒角设备领域,包括支撑框架和固定连接在支撑框架上的悬臂,支撑框架的顶部设置有转动盘,支撑框架内侧的顶部设置有第一旋转电机,且第一旋转电机的输出端活动贯穿支撑框架,并与转动盘固定连接,悬臂上设置有用于晶圆片压紧的压紧机构,转动盘的外侧设置有两对滚动定位结构,每个滚动定位结构包括支架和转动连接在支架内侧的橡胶定位辊;支架和支撑框架上固定连接有伸缩杆。本实用新型解决了当下晶圆片打磨装置无法满足多规格尺寸晶圆片倒角固定的适用性,此外,晶圆片倒角结构较为单一,无法快速满足晶圆片粗、精打磨倒角的使用需求的技术问题。

主权项:1.一种晶圆片倒角设备,包括支撑框架1和固定连接在所述支撑框架1上的悬臂2,其特征在于:所述支撑框架1的顶部设置有转动盘3,所述支撑框架1内侧的顶部设置有第一旋转电机4,且第一旋转电机4的输出端活动贯穿所述支撑框架1,并与所述转动盘3固定连接,所述悬臂2上设置有用于晶圆片压紧的压紧机构5,所述转动盘3的外侧设置有两对滚动定位结构6,每个滚动定位结构6包括支架61和转动连接在所述支架61内侧的橡胶定位辊62;所述支架61和所述支撑框架1上固定连接有伸缩杆7,所述支撑框架1上设置有用于驱动两对支架61直线移动的直线驱动单元8,其中一个支架61上设置有切换转动结构9,所述切换转动结构9上设置有粗磨轮10和精磨轮11,所述粗磨轮10、精磨轮11和其中一个橡胶定位辊62同在一条直线上,所述切换转动结构9上设置有第四旋转电机12,所述第四旋转电机12通过第一皮带轮驱动机构与粗磨轮10、精磨轮11传动连接。

全文数据:

权利要求:

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