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申请/专利权人：津上智造智能科技江苏有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体基板加工技术领域，公开了一种解锁释放装置，包括规整机构和动力源机构，对半导体基板进行清洗的机器包括水箱，水箱内设置有可往复移动的加工平台，规整机构组装在所述加工平台上，动力源机构的支撑立板固定安装在水箱的外侧，通过竖直气缸和横向气缸驱动插销柱上下和左右平移，使插销柱可与拉板的连接孔插接或分离，该解锁释放装置，动力源机构与规整机构分离设置，加工平台上的待加工基板，通过规整机构抵紧固定，当加工平台滑入除水仓内进行清洗过程，动力源机构不会随之进入除水仓内，降低加工平台运行的抖动，并使得除水仓内水汽无法对动力源进行损坏，保证设备运行的安全和稳定。
主权项：1.一种解锁释放装置，包括规整机构和动力源机构，其特征在于：所述规整机构包括第一滑轨1和安装侧板2，第一滑轨1的上侧滑动安装有滑动组件3，滑动组件3的侧面固定安装有推块4，滑动组件3的侧面固定安装有球头垫块5，安装侧板2靠近球头垫块5的一侧固定安装有柱塞销6，滑动组件3的上表面固定安装有拉板7，拉板7的端部开设有连接孔；动力源机构包括支撑立板8，支撑立板8的侧面滑动安装有升降座9，支撑立板8的侧面固定安装有竖直气缸10，竖直气缸10驱动升降座9上下往复移动，升降座9的上表面滑动安装有连接板11，升降座9的上表面固定安装有驱动连接板11往复平移的横向气缸12，连接板11的下侧固定安装有插销柱13；对半导体基板进行清洗的机器包括水箱14，水箱14内设置有可往复移动的加工平台15，规整机构组装在所述加工平台15上，动力源机构的支撑立板8固定安装在水箱14的外侧，通过竖直气缸10和横向气缸12驱动插销柱13上下和左右平移，使插销柱13可与拉板7的连接孔插接或分离。
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权利要求：
百度查询： 津上智造智能科技江苏有限公司 一种解锁释放装置
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