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申请/专利权人：中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司;华能青海发电有限公司
摘要：本发明公开了一种可调节形状的拼装式掩膜板、镀膜设备和镀膜方法，包括多根沿宽度方向并排设置的单元条；每一根单元条沿长度方向包括多个拼装单元，单个拼装单元前端设置有凸块，后端设置有凹槽，相邻拼装单元首尾相连。通过将掩膜板设计为可以拆分的多个拼装单元，相邻拼装单元首尾相连成单元条，多根单元条沿宽度方向并排设置，可以实现拼装单元的复杂形状调节，适应更多变的蒸发源形状的情况。
主权项：1.一种可调节形状的拼装式掩膜板，其特征在于，包括多根沿宽度方向并排设置的单元条；每一根单元条沿长度方向包括多个拼装单元5，单个拼装单元5前端设置有凸块，后端设置有凹槽，相邻拼装单元5首尾相连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 华能青海发电有限公司 一种可调节形状的拼装式掩膜板、镀膜设备和镀膜方法
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