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申请/专利权人：山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司
摘要：本申请实施例提供了一种晶体生长均匀性的检测装置，其中，该装置包括制程腔室和检测腔室，制程腔室用于放置原始晶体，并为原始晶体的生长提供生长环境以得到待测晶体；检测腔室与制程腔室连通，检测腔室包括载物设备和光学成像设备，光学成像设备与载物设备连通，载物设备用于放置待测晶体，光学成像设备，用于激发待测晶体的表面的光电子并成像，以对待测晶体的生长均匀性进行检测。通过本申请，解决了现有技术中晶体生长均匀性的检测无法实现实时性的问题。
主权项：1.一种晶体生长均匀性的检测装置，其特征在于，包括：制程腔室，用于放置原始晶体，并为所述原始晶体的生长提供生长环境以得到待测晶体；检测腔室，与所述制程腔室连通，所述检测腔室包括载物设备和光学成像设备，所述光学成像设备与所述载物设备连通，所述载物设备用于放置所述待测晶体，所述光学成像设备，用于激发所述待测晶体的表面的光电子并成像，以对所述待测晶体的生长均匀性进行检测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司 晶体生长均匀性的检测装置
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