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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：提供了用于检测基板工艺的终点的方法和系统。机器学习模型的集合被训练为基于针对基板收集的光谱数据来提供与所述基板的特定类型的计量测量相关联的计量测量值。鉴于与所述特定类型的计量测量相关联的性能评级，选择相应的机器学习模型，以应用于针对未来基板在未来基板工艺期间收集的未来光谱数据。当前光谱数据是在当前基板的当前工艺期间收集的，并且被提供作为对相应的机器学习模型的输入。从所述经训练的机器学习模型的一个或多个输出提取对与所述当前基板对应的相应的计量测量值的指示。响应于确定所述相应的计量测量满足计量测量准则，生成包括终止当前工艺的命令的指示。
主权项：1.一种用于训练机器学习模型，以提供针对根据当前工艺在第一制造系统处进行处理的当前基板的计量测量的方法，所述方法包括：获得与根据先前工艺在第二制造系统处进行处理的先前基板相关联的历史光谱数据集合，其中所述历史光谱数据集合包括在所述先前工艺的多个步骤中的每一者期间针对所述先前基板手机的历史光谱数据；基于所述历史光谱数据集合来生成正则化的历史光谱数据集合，其中所述正则化的历史光谱数据集合是基于在所述先前工艺的所述多个步骤中的初始步骤期间收集的第一历史光谱数据与在所述多个步骤中的一个或多个后续步骤期间收集的第二历史光谱数据之间的差异来生成的；针对所述机器训练模型生成训练数据，其中生成所述训练数据包括：生成包括从所述正则化的历史光谱数据集合提取的历史光谱数据子集的训练输入，其中所述历史光谱数据子集包括对与特定类型的计量测量相关联的一个或多个历史光谱特征的指示；以及针对所述训练输入生成目标输出，其中所述目标输出包括针对所述先前基板的历史计量测量值，所述历史计量测量值与所述特定类型的计量测量相关联；以及提供所述训练数据以根据以下各项训练所述机器学习模型：i包括所述训练输入的训练输入集合；以及ii包括所述目标输出的目标输出集合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 使用机器学习的基板工艺终点检测
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