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申请/专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
摘要：本申请公开了一种光学元件损伤实时在线检测系统，包括：通信连接的离线检测模块和实时面形检测模块；所述离线检测模块，用于在离线状态下检测光学元件在不同损伤程度条件下的面形，并将所得离线检测数据发送给所述实时面形检测模块；所述实时面形检测模块，用于利用被测光学元件的反射光来在线检测所述被测光学元件在不同环境条件下对应的实时面形，将获得的实时面形数据和来自所述离线检测模块的所述离线检测数据比对，确定所述被测光学元件的形变程度。本申请可对光路传输过程中光学元件的损伤进行实时在线、分段检测，提升了针对光学元件损伤的检测时效。
主权项：1.一种光学元件损伤实时在线检测系统，其特征在于：包括：通信连接的离线检测模块和实时面形检测模块；所述离线检测模块，用于在离线状态下检测光学元件在不同损伤程度条件下的面形，并将所得离线检测数据发送给所述实时面形检测模块；所述实时面形检测模块，用于利用被测光学元件的反射光来在线检测所述被测光学元件在不同环境条件下对应的实时面形，将获得的实时面形数据和来自所述离线检测模块的所述离线检测数据比对，确定所述被测光学元件的形变程度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京科益虹源光电技术有限公司 光学元件损伤实时在线检测系统和方法
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