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申请/专利权人：矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
摘要：本发明提供了一种取片设备及取片方法，用于取放单体晶圆，所述取片设备包括：箱体，所述箱体沿竖直方向设置有若干容纳槽，所述容纳槽用于放置所述单体晶圆；升降装置，所述升降装置包括沿竖直方向设置的竖直轨道和竖直驱动机构；扫描装置，所述扫描装置用于扫描并记录所述单体晶圆的位置，所述扫描装置滑动设置在竖直轨道上，所述竖直驱动机构驱动所述扫描装置沿所述竖直轨道移动；夹片装置，所述夹片装置用于根据所述扫描装置获得的单体晶圆的位置对所述单体晶圆进行抓取，所述夹片装置滑动设置在竖直轨道上，所述竖直驱动机构驱动所述夹片装置沿所述竖直轨道移动。本发明的取片设备，可以精准快速的对单体晶圆进行取放。
主权项：1.一种取片设备，其特征在于，用于取放单体晶圆，所述取片设备包括：箱体，所述箱体沿竖直方向设置有若干容纳槽，所述容纳槽用于放置所述单体晶圆；升降装置，所述升降装置包括沿竖直方向设置的竖直轨道和竖直驱动机构；扫描装置，所述扫描装置用于扫描并记录所述单体晶圆的位置，所述扫描装置滑动设置在竖直轨道上，所述竖直驱动机构驱动所述扫描装置沿所述竖直轨道移动；夹片装置，所述夹片装置用于根据所述扫描装置获得的单体晶圆的位置对所述单体晶圆进行抓取，所述夹片装置滑动设置在竖直轨道上，所述竖直驱动机构驱动所述夹片装置沿所述竖直轨道移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 一种取片设备及取片方法
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