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申请/专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
摘要：本发明提供一种化学液供应装置及半导体设备。化学液供应装置包括原液供应模块、混液模块及互连模块；原液供应模块包括多个化学液供应单元，多个化学液供应单元用于供应不同的化学液；混液模块包括混合腔体，用于将化学液进行混合；互连模块包括互连管和多个液体管路，互连管用于连通原液供应模块和混液模块的内部空间，液体管路用于连通化学液供应单元和混合腔体，液体管路的数量与化学液供应单元的数量相对应。本发明相较于传统的双套管连接方式，可以极大减少管路安装工作量及成本、提高设备稳固性。相较于现有技术，本发明的化学液供应装置及半导体设备结构更加紧凑、可减少设备占用空间，设备的稳固性大大提高，有助于提高生产安全性。
主权项：1.一种化学液供应装置，其特征在于，包括：原液供应模块，所述原液供应模块包括多个化学液供应单元，所述多个化学液供应单元用于供应不同的化学液；混液模块，所述混液模块包括混合腔体，所述混合腔体用于将所述化学液供应单元供应的化学液进行混合；互连模块，包括互连管和设于所述互连管内的多个液体管路，所述互连管用于连通所述原液供应模块和所述混液模块的内部空间，所述液体管路用于连通所述化学液供应单元和所述混合腔体，所述液体管路的数量与所述化学液供应单元的数量相对应；其中，所述原液供应模块或所述混液模块设置有排风口，所述排风口与厂务排气系统相连接；所述互连模块还包括气体管路，所述气体管路与厂务的气体源相连通并位于所述互连管内，用于为所述原液供应模块和所述混液模块中的元器件提供作为驱动力的气体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 化学液供应装置及半导体设备
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