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申请/专利权人：嘉兴沃尔德金刚石工具有限公司
摘要：本申请涉及CMP化学机械研磨抛光技术领域，尤其是涉及一种高精密修整工具及其制造方法，高精密修整工具包括圆盘和钻石片，所述钻石片设置有多个，各所述钻石片均设置在所述圆盘上且沿所述圆盘的轴线间隔分布，所述钻石片上成型有凸起，所述凸起呈塔状，所述凸起为多层结构，所述凸起的每层结构均成型有水平楞和倾斜的侧楞。本申请具有提高修整器的修整能力，以提高修整器的修整精度的效果。
主权项：1.一种高精密修整工具，其特征在于：包括圆盘1和钻石片3，所述钻石片3设置有多个，各所述钻石片3均设置在所述圆盘1上且沿所述圆盘1的轴线间隔分布，所述钻石片3上成型有凸起31，所述凸起31呈塔状，所述凸起31为多层结构，所述凸起31的每层结构均成型有水平楞4和倾斜的侧楞5；所述凸起31包括多个刮削层结构311，所述刮削层结构311的横截面积沿所述凸起（31）与所述钻石片3相接的方向向远离所述钻石片3的方向逐渐变小，相邻的两所述刮削层结构（311）之间位置处于上方的所述刮削层结构（311）的底面与位置处于下方的所述刮削层结构（311）的顶面相接，且位置处于下方的所述刮削层结构（311）的顶面的一周的边缘至位置处于上方的所述刮削层结构（311）的底面的一周的边缘之间形成连接面（312）；所述凸起31包括大塔313和小塔314，所述大塔313的位于同一层刮削层结构311的横截面大于所述小塔314的位于同一层刮削层结构311的横截面，所述大塔313和所述小塔314均设置有多个，所述大塔313和所述小塔314交替分布，所述大塔313的顶部与所述钻石片3表面的距离大于或等于所述小塔314的顶部与所述钻石片3表面的距离，所述大塔313的高度为0.04-2mm，所述小塔314的高度为0.03-2mm，所述大塔313的中心点与所述小塔314的中心点的间距范围为0.1-4mm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 嘉兴沃尔德金刚石工具有限公司 一种高精密修整工具及其制造方法
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